书目详细信息
： 微纳米测量技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 7-302-13063-9:CNY24。00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微纳米测量技术/.王伯雄， 陈非凡， 董瑛编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2006 |
| 载体形态项： | 223页:;+图:;+23cm |
| 丛编项： | 清华大学微机电系统工程系列教材.qing hua da xue wei ji dian xi tong gong cheng xi lie jiao cai |
| 提要文摘： | 全书共4章，内容包括:微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容;微型传感器的工作原理及其典型应用;微南米测量技术中的光学方法，光学测量系统的结构及应用;微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、微位移、振动等典型物理量的测量技术应用。 |
| 并列题名： | Metrology for micro-and nanotechnology eng |
| 题名主题： | 纳米材料 na mi cai liao 测量技术 高等学校 教材 |
| 中图分类： | TB383-43 |
| 中图分类： | P2 |
| 个人名称等同： | 王伯雄 编著 |
| 个人名称等同： | 陈非凡 编著 |
| 个人名称等同： | 董瑛 编著 |