书目详细信息
： 薄膜技术与薄膜材料
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-302-27483-4:CNY49.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 薄膜技术与薄膜材料/.田民波, 李正操编著 |
| 出版发行项： | 北京:,清华大学出版社:,2011.12 |
| 载体形态项： | XIII, 531页:;+图:;+26cm |
| 丛编项： | 材料科学与工程系列 |
| 提要文摘： | 本书内容包括: 真空技术基础 ; 真空泵和真空规 ; 真空装置的实际问题 ; 气体放电和低温等离子体 ; 薄膜生长与薄膜结构等。 |
| 题名主题： | 薄膜技术 |
| 题名主题： | 薄膜 工程材料 |
| 中图分类： | TB43 |
| 中图分类： | TB383 |
| 个人名称等同： | 田民波 编著 |
| 个人名称等同： | 李正操 编著 |
| 记录来源： | CN RENTIAN 20111229 |