书目详细信息
： 半导体微系统制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-50268-5:CNY32.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 半导体微系统制造技术/.主编刘斌 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2017 |
| 载体形态项： | 224页:;+图:;+26cm |
| 一般附注： | 普通高等教育“十三五”规划教材 |
| 提要文摘： | 本书根据半导体技术的发展趋势，主要介绍了常用的半导体微系统制造工艺，并加入了部分超大规模集成电路工艺。 |
| 题名主题： | 微电子学 高等教育 教材 |
| 中图分类： | TN4 |
| 个人名称等同： | 刘斌 主编 |
| 记录来源： | CN 浙江省新华书店集团公司 20170122 |