书目详细信息
： 聚焦离子束:应用与实践
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-305-27409-1:CNY68.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | 聚焦离子束/.邓昱 ... [等] 著 |
| 出版发行项： | 南京:,南京大学出版社:,2023 |
| 载体形态项： | 193页, 10页图版:;+图:;+23cm |
| 提要文摘： | 本书共分七章，从聚焦离子束的结构原理出发，结合应用与实践，对聚焦离子束诱导沉积、溅射刻蚀、离子注入、离子束曝光、联合使用模式以及样品的前期处理进行阐述，并配有实际案例进行进一步详解。 |
| 题名主题： | 离子束聚变装置 |
| 中图分类： | TL632 |
| 个人名称等同： | 邓昱 著 |
| 记录来源： | CN WXLS 20240511 |